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废气净化（flue gas purification）主要是指针对工业场所产生的工业废气诸如粉尘颗粒物、烟气、异味气体、有毒有害气体进行治理的工作。常见的废气净化有工厂废气净化、车间粉尘废气净化、有机废气净化、废气异味净化、酸碱废气净化、化工废气净化等。

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低温等离子体：低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度---，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。